第223章实验验证的核心挑战

贺鹏涛身为春城光机所院士，在光刻机核心光源系统这个领域中，可以说已经奉献了小半辈子时间，要单论经验绝对称得上国内顶尖专家。

也正因如此，他才更加清楚，研发稳定极紫外光源的复杂程度。

作为国际上公认的高端光刻机，极紫外光源可以说是必备的东西，没有这种稳定且功率足够的光源，就无法制造更精密工艺的晶片，尽管相关理论不是绝对秘密，但关键是能不能把光源搞出来。

而徐铭借助等离激元耦合态理论，提出了一种新的极紫外光源设想。

相当于另辟蹊径。

只要能完成实验验证，依旧可以获得极紫外光源。

简单来说的话，就是原本的方法，已然被海外半导体设备公司垄断。

导致国内这边无法实现突破。

在这种情况下，徐铭却找到了其他道路，并且还更加高效简单，所具有的意义可想而知。

不过贺鹏涛在今天之前，想的都是，大家先坐在一起对徐铭的设想进行完善尽可能的查漏补缺，也好减少实验的试错成本。

毕竟从一项大胆的设想，到具体的验证结果，中间往往需要不少时间。

但他万万没想到，看完徐铭完成的内容后，整个人直接就被震惊住，首次对真正的天才有了直观的体验。

徐铭仅用短短几天时间，便独自完善了设想，相当于直接整了份论文出来。

面对摆在眼前的事实，贺鹏涛回顾过往，发现以前遇到的所谓天才，和徐铭竟没有可比性，怪不得对方能在学界创造出这么多奇迹。

「原来真正的天才是这样式的。」

说完心中暗自感慨一句，刚准备再开口，只听耳旁又响起丁顺安的声音。

「徐总师。」

「你现在可是整个光刻机专项的主心骨，眼下工作才刚刚展开，必须要注意好身体，保证睡眠多休息才行啊。」

「下回不能这么熬了。」

丁顺安同样看出了这份文件的含金量，心里第一反应就是徐铭熬了通宵，否则实在难以想像是几天的成果。

外界都说徐铭一个理论数学家，担任光刻机项目的总设计师是瞎胡闹，现在看来徐铭拥有的实力，要比在公众面前展现出口多的多。

徐铭把丁顺安的话悉数听进耳中，知道对方是在关心他的身体健康。

当即微笑著接过话茬回应。

「多谢丁院士关心，我会注意的。」

他这么多年，每天几乎都要学习十八个小时，其中还包括雷打不动的日常锻炼。

虽只用了几天对设想完善，却比其他人多很多时间。

况且在多线程并行思维演算推导下，若完不成的话那才真有问题。

「你们年轻人身体就是好，我和老贺就不行喽。」丁顺安点点头微笑著打趣。

贺鹏涛接话道：「我可比你还小一岁呢。」

待互相闲谈了两句后，贺鹏涛突然面色严肃，用非常正经的语气看向徐铭，重新把话题给引到了正事上面。

「徐总师。」

「我这边已经准备妥当，随时可以开展实验。」

「微电子装备也一样。」丁顺安补充道。

徐铭听完两位院士的话，又看向两旁眼中浮现出炙热目光的教授研究员，也终于不再卖关子，嘴角微微上扬拍板正式做出决定来。

「那好。」

「

他这几天沉浸完善设想补充漏洞，正是为了能尽快验证极紫外光源。

只要解决了最核心的光源系统，那么距离国内攻克高端极紫外光刻机也就不远。

主要高端晶片涉及到的行业实在太多，还关系著很多先进技术的更新叠代，必须用最短的时间走出困境才行。

否则较长时间待在这空窗期内，很有可能会再次被海外拉开差距。

尤其是六代机项目，好不容易才与海外站在起跑线。

既然大家都没有什么意见，他肯定也不会耽搁，话音落下后便直接安排起来O

极紫外光源被称作难以驾驭的微光，海外方面的主流技术是采用雷射激发等离子体，需要用高功率雷射，以每秒数万次的频率轰击滴下的液态锡滴，将其激发成等离子体从而发出极紫外光源。

但由于过程的能量转换效率极低，要满足晶片量产所需要的曝光速度，其功率必须达到250瓦以上，这意味著输入的能量是巨大的。

除此之外整个光路还要在真空环境中进行，使得系统复杂性大幅度上涨。

再加上锡滴方案产生的碎屑，更让极紫外光源系统成为科研人员的噩梦。

而徐铭的设想，则是对系统重新架构。

相比较主流方法的动态轰击液体锡滴，他采取了静态激发的方案。

用一束高强度和高重复频率的雷射，照射在高速旋转的光源靶盘上，如此通过等离激元耦合态理论，雷射能够在每一点上瞬间激发耦合态，从而稳定以及高效的辐射出极紫外光源。

不但绕过了海外的专利壁垒，还更加高效且规避了锡滴碎屑带来的苦恼。

有助于延长光源的寿命时间。

随著徐铭同众人，在具体实验上展开讨论，原本大家困惑的东西也立刻变得清晰起来。

内心激动之下，毫不掩饰脸上浮现出的期待。

「关于光源靶盘的制造，需要覆盖特殊薄膜，可以拜托给材料院帮忙研发。」

「其余我没有任何意见。」

贺鹏涛全程认真听完徐铭的所有话，待相关任务安排全部讲完之后，率先开口提出自己的观点表明态度。

话音刚落。

旁边的丁顺安也未沉默，立刻接过话茬附和。

「我同意老贺的提议，交给材料院，会在很大程度上节省我们的时间。

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「这样我们能更快进行验证。」